Mashine ya Kupunguza Kaki ya Silicon Carbide hutumika zaidi kupunguza nyenzo za substrate kama vile kaki ya silicon, arsenidi ya gallium, keramik ya silicon carbide, keramik zirconia, grafiti, lithiamu tantalate na kadhalika.
Mashine za kusaga kaki zenye usahihi wa hali ya juu zinaweza kusaga nyenzo za kizazi cha tatu za semicondukta kama vile SiC, GaN, GaAs, Si, ZnO. Mfululizo wa DL-GSD ni mashine ya kusaga iliyojitengenezea nchini China, na utendaji wake umefikia kiwango cha dunia.